创业项目背景图片
某大型的半导研制各个中小企业属于长江三角洲型东南部,主耍制作晶圆和电源芯片。在制作具体步骤中,晶圆割切和打磨第一阶段生成海量碾磨液污废水 ,每日尾气排放物量约50吨。主要是因为污废水 中内含高氧浓度漂浮物、金属材料阳离子及有机肥料获取剂,同时尾气排放物会对生态环境容易造成较为严重弄脏,各个中小企业亟需基础建设正规专业处里生活设施。
废污水材质及特征
研磨cnc精密机械加工液生产废水重点渠道于晶圆代加工中的化学物质物理cnc精密机械加工(CMP)生产工艺,重点感染物具有:
漂浮粒状物
:二被钝化硅、被钝化铝等精磨粉末,颗粒直径在0.1-1μm,盐浓度超过2000mg/L。
金属件阴阳离子
:铜、铁、锌等,来源于cnc精密机械加工垫破损及晶圆漆层铝合金层,铜阳离子渗透压约50mg/L。
有机化学添加图片剂
:还包括表面上活力剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
碱酸性物质
:pH值下降大,一般是在2-11两者。
治理加工制作工艺 程序流程
涉及污水特点,选取“预正确处里+生物化+广度正确处里”结合的工艺:
调试池
:义均水硬度用水量,“添加强酸强碱设定pH至中性化。
混疑沉淀出的
:添加PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),除掉自动隐藏物和固体,沉降后SS除掉率>90%。
催化反应防氧化
:选用Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料有机酸使用剂,COD快速清理率达60%。
生物制品操作
:MBR膜菌物表现器进一大步可降解其他有机肥料物,COD降到100mg/L一下。
阴阳离子调换
:专门的环氧树脂吸咐铜阴阳离子,喷水铜水平<0.5mg/L。
砂滤+渗透性炭过滤清洁
:确定出水出水清澈见底,达标《废水综和废气排放规定》(GB8978-1996)三级规定。
以后目的
设计程序运行动态平衡后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铁离子<0.3mg/L。
工业电镀废水处理率达40%,所剩考核标准尾气排放标准,年提高电镀废水尾气排放标准1.10万吨。
补救制造费约15元/吨,远压低行业中峰值。