该晶圆制造技术厂为于华东东北部东北部,核心出产8寸大半导体材料晶圆,日访问量废水处理工艺产生量约800吨。是因为出产方式中便用很大氢佛酸参与晶圆蚀刻,引发废水处理工艺中氟化物密度达到了200-300mg/L,远超我国产生准则(10mg/L以上)。
废污水营养成分及收入
废液注意出自于5个基本原则:
晶圆蚀刻加工过程
:含高密度氟化物(HF)、盐酸及一些高价属
生物学自动化机械cnc精密机械加工(CMP)化工废水
:含纳米技术级硅颗料、生产络合剂
机械除垢废水处理工艺
:含异丙醇、化学需氧量等设计物
整理施工流程图
用于"化工悠长岁月中+沥青混凝土悠长岁月中+淬硬层过滤清洁"三级职业资格证书加工软件系统:
3级治理
:加药系统氯化钙和氢氧化物钙,达成氟化钙水解,氟化物出掉率达85%
特殊解决
:“添加PAC(汇聚氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),除掉橡胶胶体部分态影响物
三级视频处里
:根据多有机溶剂筛选器和活力炭离心分离,有水出氟化物密度固定在8mg/L下类
重中之重设配属于:pH自功自动调节机系统、斜管凝固池、板框厢式压滤机(生活污水出现脱水)。
进而治疗效果
产品执行两年探测数值体现:
氟化物评均渗透压:7.2mg/L(不高于政府准则)
COD弄掉率:92%
活性污泥含水量率:≤65%
年收回氟化钙副护肤品约150吨,建立能源化再生利用